激光水下切割硅片流水線倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

1.28萬(wàn)字
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摘 要
本文簡(jiǎn)要介紹了立體倉(cāng)庫(kù)設(shè)計(jì)的概念，立體倉(cāng)庫(kù)的組成和分類，其中包含對(duì)機(jī)械手、倉(cāng)庫(kù)、倉(cāng)庫(kù)運(yùn)輸機(jī)的設(shè)計(jì)與介紹以及國(guó)內(nèi)外的發(fā)展?fàn)顩r。
本文首先對(duì)硅片工藝進(jìn)行的系統(tǒng)的綜述，介紹了中外當(dāng)今硅片切割工藝發(fā)展和應(yīng)用，還有水下切割硅片的工藝。
其中較為關(guān)鍵的是對(duì)立體倉(cāng)庫(kù)進(jìn)行總體方案設(shè)計(jì)與計(jì)算， 其中機(jī)械部分設(shè)計(jì)，對(duì)機(jī)械手的設(shè)計(jì)包括：機(jī)械手自動(dòng)度描述和分配，各關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)部件設(shè)計(jì)，吸盤設(shè)計(jì)，整體集成等。倉(cāng)庫(kù)的設(shè)計(jì)包括：倉(cāng)庫(kù)支架部分，倉(cāng)庫(kù)倉(cāng)位部分，倉(cāng)庫(kù)托運(yùn)架部分，料斗下料部分，倉(cāng)庫(kù)工位的布置等。
同時(shí)介紹了對(duì)控制方面的設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)要介紹了三菱fx2n系列PLC的軟硬件及其在本系統(tǒng)中的應(yīng)用，并且介紹如何通過(guò)PLC控制機(jī)械部分的運(yùn)動(dòng)和控制。
最后對(duì)設(shè)計(jì)進(jìn)行了總結(jié)和展望，概括該系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中的創(chuàng)新之處，不足之處和對(duì)激光水下切割硅片生產(chǎn)流水線倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)設(shè)計(jì)進(jìn)行的展望。

關(guān)鍵詞： 機(jī)械手，倉(cāng)庫(kù)運(yùn)輸機(jī)，立體倉(cāng)庫(kù)


Abstract
This paper introduces the concept of warehouse design , composition and classification warehouse , which contains a robot , warehouse, warehouse transport aircraft design and development of presentations and abroad .
Summary This article first silicon technology for systems , today introduced the foreign wafer cutting technology development and application , as well as underwater cutting silicon technology .
One of the more critical is the overall three-dimensional warehouse design and calculation , in which the mechanical part of the design of the robot's design includes: automatic robot description and distribution of the various joint drive component design , sucker design, the overall integration. Warehouse design include : warehouse bracket portion , part warehouse positions , warehouse shipment frame parts, hopper feed section , the warehouse layout , etc. station .
Also introduced to control aspects of the design , hardware and software and its application brief series PLC Mitsubishi fx2n in this system , and describes how to control the mechanical part of the PLC and motion control .
Finally, a summary and outlook design , generalization of the system design process innovation , and the outlook for the inadequacies of the underwater laser cutting silicon production line of storage systems design .

KEY WORDS : Manipulator, warehouse transport, warehouse


目 錄
第一章 緒 論 5
1.1 硅片切割工藝綜述 5
1.1.1 傳統(tǒng)硅片切割工藝 6
1.1.2 先進(jìn)硅片切割工藝 6
1.1.3 中外當(dāng)今硅片切割工藝發(fā)展和應(yīng)用 6
1.1.4 激光水下硅片切割工藝 7
1.2 工業(yè)化激光水下切割硅片生產(chǎn)流水線倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)計(jì)關(guān)鍵技術(shù) 7
1.2.1 倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)的硬件組成部分 7
1.2.2 倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)的軟件設(shè)計(jì)方案 7
1.2.3 方案集成過(guò)程中的關(guān)鍵技術(shù)難題及解決方案 8
第二章 系統(tǒng)硬件設(shè)計(jì)及計(jì)算過(guò)程 9
2.1 倉(cāng)庫(kù)的設(shè)計(jì) 9
2.1.1 倉(cāng)庫(kù)支架部分 9
2.1.2 倉(cāng)庫(kù)倉(cāng)位部分 9
2.2 倉(cāng)庫(kù)運(yùn)輸機(jī)的設(shè)計(jì) 9
2.2.1 推出機(jī)構(gòu) 9
2.2.2 提升機(jī)構(gòu)機(jī)構(gòu) 13
2.2.3 行走機(jī)構(gòu) 13
2.3 工作臺(tái)下料轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)械手的設(shè)計(jì) 14
2.3.1選擇吸盤 14
2.3.2 伸縮手臂的設(shè)計(jì) 15
2.3.3 升降手臂的設(shè)計(jì) 18
2.3.4 回轉(zhuǎn)臂的設(shè)計(jì) 20
2.4 倉(cāng)庫(kù)規(guī)劃與管理敘述 23
2.4.1、存儲(chǔ)規(guī)劃概述 23
2.4.2、貨位管理 24
第三章 倉(cāng)庫(kù)規(guī)劃與管理敘述 25
3.1 PLC的控制應(yīng)用 25
3.1.1 基于PLC的自動(dòng)化過(guò)程控制及其在本系統(tǒng)中的應(yīng)用 25
3.1.2 概述過(guò)程控制自動(dòng)化的工業(yè)應(yīng)用 25
3.1.3 概述三菱fx2n系列PLC的軟硬件及其在本系統(tǒng)中的應(yīng)用 25
3.2 過(guò)程自動(dòng)化控制流程圖 26
3.3本系統(tǒng)任務(wù)描述和提煉 27
第四章 總結(jié)和展望 28
4.1 該系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中的創(chuàng)新之處 28
4.2 該系統(tǒng)設(shè)計(jì)不足之處 28
4.3 該系統(tǒng)與整條生產(chǎn)線的銜接描述 28
4.3 激光水下切割及其工業(yè)化生產(chǎn)流水線的應(yīng)用前景 29
謝 辭 30
參考文獻(xiàn) 31