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一種新型綜合的多軸配置并聯(lián)運動學(xué)機構(gòu)第1部分.關(guān)于制作的運動學(xué)設(shè)計

摘要
多軸微型和配置系統(tǒng)正越來越多地用于大部分的計量和工藝設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域納米科技。這一點，首要的一個由兩部分組成的系列文章對一種新型的壓電陶瓷驅(qū)動，平行運動軸XYZ維的配置（ pkxyznp ） 現(xiàn)階段，專注于發(fā)展一個可行的計劃，以實現(xiàn)抽象的空間轉(zhuǎn)化。第一，這個機械裝置是容納了兩個封閉形式解決方案;正向和反向運動學(xué)的問題。雅可比與動力系統(tǒng)表明，該機械結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相關(guān)的比較大的工作量，并且能將高帶寬和均勻性融合交叉。制備系統(tǒng)描述隨著的一些基本測試，其雅可比及其模態(tài)頻率。用電容計，這樣的步驟是能產(chǎn)生85_m 左右的運動并沿每個軸分辨率約為2-4 nm左右。控制測試以及性能表現(xiàn)用來詳細討論相似的文件。

關(guān)鍵詞：納米;平行運動學(xué);柔性階段;運動學(xué)分析;步驟設(shè)計