不同退火溫度對(duì)AZO/Ag/FTO薄膜光電性能的影響


2.4萬(wàn)字 39頁(yè) 原創(chuàng)作品，已通過(guò)查重系統(tǒng)

目 錄
摘要 I
Abstract II
第1章 緒論 1
1.1 透明導(dǎo)電氧化物薄膜概述 1
1.1.1 Al摻雜氧化鋅材料(AZO)的結(jié)構(gòu)，性質(zhì)和發(fā)展 2
1.1.2 F摻雜氧化錫材料(FTO)的結(jié)構(gòu)，性質(zhì)和發(fā)展 4
1.2 薄膜的制備方法 4
1.2.1 磁控濺射法 6
1.2.2 溶膠-凝膠法 5
1.2.3 真空蒸鍍法 6
1.2.4 化學(xué)氣相沉積(CVD)法 6
1.2.6 其他制備法 7
1.3 提高薄膜性能的重要工藝(退火) 9
1.3.1 退火種類...............................................................................................................9
1.3.2 退火對(duì)薄膜性能影響...........................................................................................9
1.4 本課題的目的、意義和研究?jī)?nèi)容 10
第2章 AZO/Ag/FTO薄膜熱退火處理 11
2.1 實(shí)驗(yàn)的設(shè)計(jì) 11
2.2 實(shí)驗(yàn)部分 11
2.2.1 實(shí)驗(yàn)材料和儀器 11
2.2.2 實(shí)驗(yàn)儀器 11
2.2.3 實(shí)驗(yàn)樣品的預(yù)處理 13
2.3 薄膜的制備方法 14
2.3.1 FTO基片表面鍍膜 14
2.4 結(jié)果分析與討論 15
2.4.1 薄膜的生長(zhǎng)模式及過(guò)程 15
2.4.2 分步退火對(duì)AZO/Ag/FTO薄膜表面形貌的影響 16
2.4.3 整體退火對(duì)AZO/Ag/FTO薄膜表面形貌的影響 17
2.5 本章小結(jié) 18
第3章 AZO/Ag/FTO薄膜光電性能測(cè)試與分析 20
3.1 樣品性能測(cè)試 20
3.1.1 紫外可見(jiàn)分光光度計(jì) 20
3.1.2 四探針測(cè)試儀 21
3.2 結(jié)果分析與討論 22
3.2.1 分步退火中不同退火溫度對(duì)薄膜光電性能影響 22
3.2.2 整體退火中不同退火溫度對(duì)薄膜光電性能影響 25
3.2.3 不同薄膜樣品的品質(zhì)因子值 26
3.3 本章小結(jié) 26
第4章 結(jié)論與展望 28
4.1 結(jié)論 28
4.2 展望 28
致 謝 30
參考文獻(xiàn) 31



摘要：三層復(fù)合薄膜由于其良好性能越來(lái)越受到關(guān)注。而AZO/Ag/FTO三層復(fù)合薄膜作為其中一種，其優(yōu)化制備技術(shù)（退火）成為目前研究熱點(diǎn)，但目前對(duì)于該方面的報(bào)道較少，很多性能參數(shù)不夠詳盡，因此，本文在不同退火條件下采用不同退火溫度對(duì)AZO/Ag/FTO三層復(fù)合薄膜進(jìn)行退火，研究對(duì)其光電性能的影響，獲得足夠詳盡綜合的數(shù)據(jù)，通過(guò)SEM、紫外-可見(jiàn)分光光度計(jì)、四探針測(cè)試儀對(duì)薄膜的形貌與性能進(jìn)行表征和分析，探討了不同工藝參數(shù)對(duì)薄膜的光學(xué)、電學(xué)性能的影響，還估算了不同薄膜的品質(zhì)因子。主要結(jié)論如下：
與未退火處理過(guò)的AZO/Ag/FTO多層復(fù)合薄膜相比，退火處理過(guò)的樣品具有更高的透光率。同時(shí)分步退火和整體退火得到樣品的光學(xué)性能不盡相同，在分步退火手段下，450 ℃退火溫度下的樣品具有最優(yōu)透光率。與未退火樣品相比，所有退火的AZO/Ag/FTO薄膜方塊電阻值明顯下降，同時(shí)在500 ℃下分步退火的薄膜樣品具有最低的方塊電阻，為4.9 Ω/□。實(shí)驗(yàn)中，在450 ℃下分步退火的AZO/Ag/FTO薄膜的品質(zhì)因子最大，為4.78×10-3 Ω-1，表明該薄膜具有最佳的綜合光電性能。

關(guān)鍵詞：AZO/Ag/FTO薄膜 磁控濺射 退火 光電性能 品質(zhì)因子